ORTUS SERİSİ
ORTUS, Plazma İyon Destekli Biriktirme (PIAD) teknolojisine dayanan bir e-ışın buharlaştırma kaplama makineleri ailesidir. I-Photonics tarafından geliştirilen tamamen otomatik optik izleme sistemi OCP Singlewave, optik kaplama süreç ve tasarımlarının gerçek zamanlı optimizasyonunu mümkün kılar; ayrıca karmaşık filtre kaplamalarının yüksek doğruluk ve tekrarlanabilirlikte otomasyonunu sağlar. Bu sayede ORTUS, hem Ar-Ge laboratuvarları hem de özellikle kararlı ve yüksek kaliteli üretim kapasitesine ihtiyaç duyan kaplama firmaları için güvenilir ve güçlü bir üretim aracı hâline gelir.
Kaplama Uygulamaları:
Görünür ve Kızılötesi Optikler
Lazerler
Özel uygulamalar
ORTUS ile üretilen ince filmler şuralarda kullanılır:
Sensörler
Objektifler için optik sistemler
Mikroskoplar
Teleskoplar
Lazer optikleri
Ar-Ge çalışmaları
ORTUS 700
Substrate holder:
Dome ø620 mm,
Planetary 3x ø250 mm.
Automatic Optical Monitoring.
2x E-gun, Resistance evap., End hall assist, RF Plasma Assist Source.
ORTUS 900
Substrate holder:
Dome ø800 mm,
Planetary 4x ø327 mm.
Automatic Optical Monitoring.
2x E-gun, Resistance evap., End hall assist, RF Plasma Assist Source.
ORTUS 1100
Substrate holder:
Dome ø995 mm,
Planetary 4x ø387 mm.
Automatic Optical Monitoring.
2x E-gun, Resistance evap., End hall assist, RF Plasma Assist Source.
ORTUS 1500
Substrate holder:
Dome ø1390 mm,
Planetary 4x ø590mm.
Automatic Optical Monitoring.
2x E-gun, Resistance evap., End hall assist, RF Plasma Assist Source.