LIDIZ SERİSİ

LIDIZ IBS kaplama hattı, İyon Işını Sıçratma (IBS) teknolojisinde 50 yıllık tecrübenin bir sonucu ve somutlaşmış halidir.
IBS teknolojisi, son derece düşük kayıplı optik kaplamalar üretmesiyle tanınır.
LIDIZ IBS Sıçratma Sistemleri, çok çeşitli uygulamalar için optik kaplamalar üretiminde en ileri düzey ekipmanları temsil eder.
LIDIZ, geniş bir malzeme yelpazesinde yüksek doğrulukta ve mükemmel kalitede ince film üretimi için tasarlanmıştır.

I-Photonics geliştirdikleri benzersiz optik süreç kontrol sistemleri OCP Singlewave ve OCP Broadband ile kaplama sürecinin gerçek zamanlı optimizasyonunu sağlar ve karmaşık filtre kaplamalarının yüksek doğruluk ve tekrarlanabilirlik ile sıkı bir şekilde kontrol edilmesine imkân tanır.

Kaplama Uygulamaları:

• Lazer aynaları

• Bant geçiren (bandpass) filtreler

• Çok bantlı bant geçiren filtreler

• Notch (darbe engelleyici) filtreler

• Çoklu notch filtreler

• Rugate filtreler

• Düşük saçılma ve düşük emilim kaybına sahip optikler

• İnce film polarizatörler

• Geniş açılı yansıma önleyici (AR) kaplamalar

• Fiberler üzerinde kaplamalar

• Lazer diyotlar için AR kaplamalar

• Düşük kusurlu kaplamalar

• Düşük kayıplı HR veya AR kaplamalar (Toplam kayıp <10 ppm)

• Yüksek hassasiyet ve kalınlık kontrolü gerektiren >100 katmanlı çok katmanlı filtreler

LIDIZ 700

I-Photonics’in IBS kaplama sistemi LIDIZ 700, bant geçiren filtreler, çok spektrumlu filtreler, ışın ayırıcılar ve ultra düşük kayıplı lazer aynaları gibi ileri teknoloji optik girişim kaplamalarını üretmek üzere tasarlanmıştır.

Tabaka taşıyıcıları için sunulan yapılandırılabilir seçenekleri, yükleme-kilit (load-lock) sistemi ve benzersiz tam otomatik yüksek hassasiyetli optik izleme sistemi sayesinde LIDIZ, farklı ihtiyaçlara göre yapılandırılabilir ve böylece IBS teknolojisinin sunduğu tüm avantajları — yüksek film saflığı, en düşük optik kayıplarda en stabil biriktirme hızı gibi — eksiksiz bir şekilde sağlar.

• Kurulum Alanı (U × G × Y): 3540 × 1840 × 2000 mm

• Ekipman Ağırlığı: 4500 kg

• Sıçratma Kaynağı: RF Izgara IBS + RF nötralizatör

• Destek Kaynağı: RF Izgara IBS + RF nötralizatör

• Tabaka Taşıyıcı ve Kaplama Alanı:

  Tek disk Ø320 mm (800 cm²)
  Planet tipi 4 × Ø210 mm (1380 cm²)
  Planet tipi 3 × Ø320 mm (2400 cm²)

• Yükleme-Kilit (Load-Lock) Sistemi: Tek diskli tabaka taşıyıcı için

• Kaplama Homojenliği:

  Planet tipi 4 × Ø210 mm: ≤ ±0,25%
  Tek disk Ø320 mm: ≤ ±0,5%
  Planet tipi 3 × Ø320 mm: ≤ ±0,5%

• Süreç İzleme Sistemi:

  OCP Broadband
  OCP Singlewave
  OCP Duo (Broadband + Singlewave 2’si 1 arada)

• Tabaka Malzemeleri: Cam seramikler, kromatik ve akromatik optik camlar, kuvars, potasyum florür, safir vb.

• Maksimum Hedef (Target) Sayısı: 4 adet

• Sıçratma Hedefleri (Malzemeler): Ti, Ta, Nb, Zr, Hf, Al, Si, SiO₂ vb.

• Kaplama Hızı: Malzeme türüne bağlı olarak saniyede 5 Å’ya kadar

• İşlem Sırasındaki Tabaka Sıcaklığı (Isıtıcı kullanılmadan): < 100 °C

• Tabaka Isıtma Sistemi Sıcaklığı: < 250 °C

• Tabaka Isıtma Homojenliği: ± 2 °C

• Nihai Vakum (Ultimate Pressure): 2 × 10⁻⁵ Pa

• Nihai Vakuma Ulaşma Süresi: 8 saat

• İşlem Başlangıç Basıncı: 8 × 10⁻⁴ Pa

• İşlem Başlangıç Basıncına Ulaşma Süresi:

  30 dakika (yükleme-kilit olmadan)
  15 dakika (yükleme-kilit ile)

• Vakum Sistemi: Kuru mekanik pompa ve kriyojenik pompa
  (Opsiyonel: Turbo moleküler pompa)