AURORA PLATFORM

Büyük Ölçekli Seri Üretim İçin Dikey Hat İçi Vakum Sistemleri
AURORA hat içi platformu, yüksek verimli üretim için konveyör tipine modifiye edilmiş magnetron sıçratma teknolojisine dayanmaktadır.
AURORA sisteminin en belirgin özelliği, tabakaların dikey konumda yüklenmesi tasarımıdır. Tabakalar, tüm kaplama ünitesinin içinden geçerek, vakum yükleme-kilit bölümleri ve işlem koridorlarından sırasıyla ilerleyen bir taşıyıcıya yüklenir. Süreç sonunda taşıyıcılar ister geri dönebilir, ister başka bir odaya geçebilir ya da kaplanmış tabakaların boşaltılması için atmosfere çıkabilir.

INLINE AR+AF süreçlerinde yıllara dayanan Ar-Ge çalışmaları sonucunda, pazarda üstün aşınma direncine sahip kaplama parametreleri sunan bir inline kaplama sistemi geliştirilmiştir.

• AURORA – V: Dikey tabaka yükleme tasarımı

• AURORA – I: 7° açıyla eğimli tabaka yükleme tasarımı (dikey eksene göre)

AURORA-V

Büyük Ölçekli Seri Üretim İçin Dikey Hat İçi Vakum Sistemleri

AURORA-V, tamamen dikey tabaka yüklemesi prensibine dayanan, magnetron sıçratma teknolojisi tabanlı bir hat içi vakum kaplama sistemidir.

Kaplama Makinesi Tanımı

Kaplama sistemi iki ana bölümden oluşur:

• Vakum odaları

• Yükleme/boşaltma masaları (otomasyon sistemine uygun çalışacak şekilde yapılandırılmış)

Bu masalar temiz oda (cleanroom) ortamına kurulur.

Standart AURORA tasarımı tek uçludur, yani yükleme ve boşaltma işlemleri aynı taraftan yapılır; taşıyıcılar işlem koridoruna girer ve dönüş (turnback) veya kaydırmalı dönüş (shiftback) odasından geçer.
İsteğe bağlı olarak, yükleme ve boşaltmanın karşılıklı uçlardan yapıldığı çift uçlu tasarım da mümkündür.

Tabakalar taşıyıcılara sabitlenir ve bu taşıyıcılar vakum yükleme-kilit odasından işlem odasına (sıçratma alanına) sabit hızla ve aralarında boşluk (gap) olmadan ilerlerler.
İşlem odaları, tabaka temizliği, ince film kaplama ve gerekirse son işlem (post-treatment) için tüm ekipmanlarla donatılmıştır.
Makine kontrolü, tam otomatik modda HMI + PLC sistemi üzerinden sağlanır.
Kontrol sistemi, İmalat Yürütme Sistemleri (MES) ile entegre edilebilir.

Mevcut Üretim Jenerasyonları

Kaplama alanı büyüklüğüne göre AURORA-V şu seçeneklerle sunulmaktadır:

• GEN 5: 1100 × 1300 mm kaplama alanı

• GEN 6: 1500 × 1850 mm kaplama alanı

• GEN 8: 2200 × 2500 mm kaplama alanı

Standart dışı özel varyasyonlar da ayrıca değerlendirilebilir.

Üretkenlik

Kaplama alanı boyutuyla birlikte üretkenliği belirleyen ana parametre çevrim süresidir (takt süresi).
Bu süre, kaplanmış tabakaların taşıyıcıdan boşaltılması ile yeni tabakaların yüklenmesi arasındaki zaman dilimidir.
AURORA-V platformu için en kısa çevrim süresi 45 saniyeden başlamaktadır.

Süreç Kararlılığı

SIFIR BOŞLUK (ZERO GAP) taşıma sistemi tasarımı (taşıyıcılar arasında boşluk bırakmadan ilerleme),
yüksek kaliteli AR (yansıma önleyici) kaplamalar için gereken olağanüstü sıçratma süreci kararlılığını sağlar.
Bu, özellikle ekran ve dokunmatik panel sektörleri için kritik bir gerekliliktir.

Mevcut Kaplama Süreçleri

Modüler yapısı sayesinde, AURORA kaplama sisteminin tasarımı farklı üretim görevlerine göre ölçeklendirilebilir ve optimize edilebilir.
Kullanılabilecek başlıca teknolojik cihazlar şunlardır:

• İyon Işını ile Temizleme Sistemi

• RF Plazma Temizleme Sistemi

• Planar Magnetron Sıçratma İstasyonu (DC veya AC)

• Silindirik Döner Magnetron Sıçratma İstasyonu (DC veya AC)

• RF Magnetronlar

• AF (Anti-Fingerprint) Buharlaştırma Sistemi

• Optik İzleme Sistemi

Tabaka Türleri

• Cam

• PET (veya diğer plastik filmler)

• Talebe bağlı diğer malzemeler